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燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理氣體種類
可處理氣體種類包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。
燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置
一.主要特點(diǎn)
1. 獨(dú)立燃燒方式,完全燃燒之火焰渦流:可燃性毒性氣體從低濃度至100%濃度均可用高溫處理;
2. SiH4與NF3、NO2同時(shí)燃燒:SiH4與NF3、NO2可以同時(shí)于燃燒室中一起 燃燒;
3. 基本功能之安全設(shè)計(jì):異常情況發(fā)生時(shí),診斷機(jī)能會自動安全處理;
4. 使用刮刀方式,粉塵處理容易:燃燒室內(nèi)部之附著粉塵,可使用獨(dú)立之刮刀容易且確實(shí)地清除;
5. H2、LPG、天然瓦斯(LPG)各種型式:燃料氣體可使用H2、LPG、天然瓦斯(LPG)3 種型式;
6. 保養(yǎng)簡單:保養(yǎng)可在極短的時(shí)間內(nèi)完成,費(fèi)用也低廉;
7. 高信賴性:構(gòu)造簡單且零件數(shù)少,值得高度信賴。
二.燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理氣體種類
可處理氣體種類包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。
三.燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理原理
1. 冷卻空氣之一部份在燃燒室內(nèi)形成火焰渦流,制程氣體會完全卷入燃燒;
2. Guardian之火焰渦流可將SiH4等氣體,破壞其氣泡產(chǎn)生;
3. 冷卻空氣在機(jī)臺內(nèi)部循環(huán),燃燒室外部使用空氣冷卻。并可使排氣溫度冷卻下降,而且可將燃燒后之氧化物排出等多樣功能;
4. 熱電對之安全裝置,可監(jiān)視燃燒室溫度、排氣溫度、Process Gas導(dǎo)入管溫度。另外Photo sensor可監(jiān)視熄火,差壓計(jì)可檢視排氣風(fēng)量。