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2020-08-27 14:52:54 責(zé)任編輯: 特氣系統(tǒng)專業(yè)設(shè)計 0
硅烷(SiH4)是一種在常溫常壓下具有惡臭的無色氣體。它還是一種在室溫下能著火、在空氣或鹵素氣體中能爆炸性燃燒的劇毒性特種氣體。
硅烷在高科技行業(yè)中應(yīng)用越來越廣泛,這與它的特性有關(guān),同時也與行業(yè)的特殊需求有關(guān)。
1、硅烷(SiH4)可以通過熱分解或與其它氣體的化學(xué)反應(yīng)制得單晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物質(zhì)。
舉例:半導(dǎo)體行業(yè)中,硅烷SiH4是顯示屏制造中最關(guān)鍵的氣體之一,與氨氣(NH3)結(jié)合使用,形成用于a-Si晶體管的氮化硅層;與氧化亞氮(N2O)結(jié)合使用形成MO晶體管的氧化硅層。
2、硅烷(SiH4)的利用可以實現(xiàn)高純度、超精細(xì)(可達(dá)原子尺寸)的控制和最靈活多變的化學(xué)反應(yīng)。從而將各種含硅材料制成復(fù)雜精細(xì)的結(jié)構(gòu), 滿足各種需要,這也正是現(xiàn)代具有各種特異功能的材料和器件所要求的基本條件。
硅烷既然這么有用,那肯定不能因為它是危險性氣體就不用啊,但同樣安全第一,那該怎么辦呢?特氣系統(tǒng)和特氣設(shè)備!他們的出現(xiàn)便是為了解決這種問題而專門設(shè)計出來的。
硅烷特氣柜設(shè)計要求
1、因為硅烷(SiH4)的危險性,所以整套系統(tǒng)應(yīng)該配備惰性吹掃裝置,而且應(yīng)該設(shè)置獨立的惰性氣體鋼瓶(比如高壓N2)進(jìn)行吹掃,不得采用管道氮氣吹掃。
2、硅烷(SiH4)與空氣會自燃,柜內(nèi)應(yīng)配備氣體泄露偵測器、火焰探測器等,當(dāng)發(fā)生泄漏時,能及時報警處理,避免更大事故的發(fā)生。
3、硅烷系統(tǒng)的排氣管不得接入排風(fēng)系統(tǒng),硅烷和硅烷混合物排氣系統(tǒng)應(yīng)該獨立于其它氣體排氣系統(tǒng)。
4、如果排氣的硅烷(SiH4)濃度較高時,應(yīng)采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。
5、由于存在通過系統(tǒng)的固定慣性氣流,要設(shè)有防止回流裝置。
6、排氣管應(yīng)采用惰性氣體連續(xù)吹掃,吹掃氣體流速不得小于0.3m/s。
硅烷管道要求
1.硅烷特氣管道安裝一般首選管道系統(tǒng)是316或316L無縫EP級不銹鋼,其內(nèi)、外表面極其光亮,且具有焊接結(jié)構(gòu),額定壓力為最大運轉(zhuǎn)壓力的1.5倍,在三倍的正常傳輸壓力到最大額定壓力之間用氦檢漏,理想的系統(tǒng)應(yīng)該全部是焊接的。
2.潔凈管道的焊接除了要達(dá)到常規(guī)工業(yè)管道對焊縫的要求外,還要求焊接時管內(nèi)、外表面不受污染,焊縫內(nèi)、外表面必須與母材光亮度基本一致。
3.硅烷特氣管道系統(tǒng)上不允許使用襯墊閥。只能使用無襯墊膈膜閥或波紋管閥。在所有的配送系統(tǒng)上都應(yīng)安裝流量控制閥或流量開關(guān),以便在流線型破裂的情況下切斷氣流。這個切斷閥應(yīng)該盡可能接近氣源。
4.在硅烷設(shè)施中,所有的氣體管道、閥門和功能性組件都要貼上標(biāo)簽,說明它們的用途。管道上的標(biāo)簽應(yīng)當(dāng)說明氣流方向和氣體類型。
以上,便是硅烷特氣系統(tǒng)中硅烷(SiH4)的作用、特氣柜的設(shè)計和氣體管道要求,因為硅烷的危險特性,要選好特氣設(shè)備(特氣柜)和做好氣體管道安裝,這樣無論你是否使用,你都是可以放心和安全的。感謝您的閱讀!