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名稱:單瓶特氣柜(Gas Cabinet)規(guī)格:單工藝氣瓶,全自動
型號:WF-GC100
特氣柜尺寸:W550寬×D500深×H1800高
■ 外吹掃:PN2,1/4"MVCR接口
■ 抽真空:GN2,1/4"MVCR接口
■ 氣動隔膜閥:CDA驅(qū)動,1/4"卡套接口
■ VENT排空管:1/2MVCR接口
■ 工藝氣體出口:2個(gè),1/4"MVCR接口
■ 盤面規(guī)格:1/4"盤面
■ 標(biāo)準(zhǔn)配備:防爆防腐柜體,防爆自鎖門,防爆玻璃觀察窗,泄漏報(bào)警,遠(yuǎn)程切斷,欠壓報(bào)警,主材SS316L
■ 柜體換氣量:4"排氣口,1200次/小時(shí)
■ 控制柜尺寸:W550寬×D230深×H320高
■ 控制柜電源:220VAC,50HZ,200W,漏電保護(hù)
■ 操作界面:7"彩色觸摸屏
■ 選配:工藝氣瓶重量監(jiān)控器,工藝氣體超壓報(bào)警,盤面加熱及溫控裝置,報(bào)警信號手機(jī)短信與電話通知
適用范圍:應(yīng)用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機(jī)等配套設(shè)備上,適用于高校實(shí)驗(yàn)室、材料分析實(shí)驗(yàn)室、芯片半導(dǎo)體、光伏太陽能電池、生物醫(yī)藥工程、微電子新材料等行業(yè)。