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2020-12-05 10:37:15 責(zé)任編輯: 尾氣處理設(shè)備制造廠商 0
當(dāng)今,隨著時(shí)代的進(jìn)步,社會(huì)已進(jìn)入以半導(dǎo)體技術(shù)為核心的信息時(shí)代,在半導(dǎo)體制造生產(chǎn)過(guò)程中需要使用多種特殊氣體,會(huì)產(chǎn)生大量的廢氣。如果處理不當(dāng),沒(méi)有經(jīng)過(guò)尾氣處理設(shè)備就高濃度排放,會(huì)對(duì)環(huán)境以及我們的健康造成很大影響。
隨著半導(dǎo)體制程工藝的不斷細(xì)化,廢氣治理工作的深入,為了避免在冗長(zhǎng)的排氣過(guò)程中引發(fā)非預(yù)期的氣體泄漏,局部聚積或相互反應(yīng),所以,制程中特氣廢氣需先在Local Scrubber 尾氣處理設(shè)備(常用吸附式)做處理,再接續(xù)至廠務(wù)端做第二道處置。那么,吸附式尾氣處理設(shè)備Local Scrubber 有什么優(yōu)勢(shì)呢?
吸附式尾氣處理設(shè)備的優(yōu)點(diǎn):
1. 吸附劑處理,無(wú)廢水。以材質(zhì) SUS304、容量100L的吸附桶完全處理設(shè)備尾氣,處理過(guò)程中不需要耗用水資源,沒(méi)有廢水處理問(wèn)題;
2. 節(jié)省能源,無(wú)明火。在無(wú)塵室內(nèi)處理廢氣時(shí)不產(chǎn)生火源,沒(méi)有明火,沒(méi)有高耗能的需求;
3. 系統(tǒng)功能齊全。尾氣處理設(shè)備以PLC 觸控面板為主體搭配人機(jī)接口控制系統(tǒng),各管路進(jìn)、出口設(shè)計(jì)壓力、溫度、CDA流量、N2流量傳感器,針對(duì)設(shè)備運(yùn)行時(shí)各種狀況,隨時(shí)監(jiān)控,全面監(jiān)控;
4. 尾氣出口處安裝變頻風(fēng)機(jī),可根據(jù)進(jìn)出口壓力,調(diào)整風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速,能提升藥劑使用壽命、穩(wěn)定處理廢氣壓力和避免廢氣回流
5. 指示劑:配備PH3, AsH3氣體監(jiān)控變色球指示劑,替代傳統(tǒng)電化學(xué)計(jì)。
通過(guò)以上描述,相信大家對(duì)吸附式尾氣處理設(shè)備Local Scrubber 所具備的優(yōu)點(diǎn)有一定的了解,在半導(dǎo)體行業(yè)根據(jù)氣體性質(zhì)等條件選擇合適的尾氣處理設(shè)備更加穩(wěn)定可靠。感謝您的閱讀!