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2021-01-26 10:45:59 責(zé)任編輯: 高純氣體管道安裝公司 0
什么是高純氣體管道配管技術(shù)?所謂的高純氣體配管技術(shù),是包括高純供氣系統(tǒng)的正確設(shè)計、閥門管件及附件的合理選擇、管道施工、安裝試驗和測試等;是高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)的重要組成部分;是保證高純氣體安全穩(wěn)定的輸送到用氣點,且符合設(shè)備使用要求的關(guān)鍵技術(shù)。
高純氣體管道工程應(yīng)用領(lǐng)域
高純氣體管道系統(tǒng)工程有著能保證氣體的純度、保證標準氣體流量、壓力穩(wěn)定和量值傳遞不發(fā)生變化等特點,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)藥、各種實驗室、科研研究所、標準測試等高科技行業(yè)。
常見氣體種類:
在電子工業(yè)中普通氣體,也稱大宗氣體(Bulkgas):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氮氣(A2)等;除普通氣體外,電子工業(yè)還會用到大量的高純特種氣體(Specialty gas ),如:SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O等等。這些特殊氣體根據(jù)氣體性質(zhì),類別通??煞譃楦g性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。
常用半導(dǎo)體氣體分類如下:
(一)腐蝕性/毒性: HI、BF3、WF6、HBr、SiH2C2、NH3、PH3、C12、BCI3等
(二)可燃性: CH4、SiH4、PH3、AsH3、SIH2CI2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等
(三)助燃性: O2、C12、N2O、W3等
(四)惰性: CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等
半導(dǎo)體行業(yè)中使用的電子特種氣體,很多都是對人體有害。比如,半導(dǎo)體制程工藝最常見的特種氣體:硅烷(SiH4)就具有自燃特性,一旦發(fā)生泄漏,它們就會與空氣中的氧氣劇烈反應(yīng)并開始燃燒。再比如磷烷(PH3)和坤烷(AsH3)也具有劇毒性,任何輕微的泄漏都可能對人們的生命造成傷害。正是由于這些明顯的危險,所以對于高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)計的安全性要求特別高。
以上,便是關(guān)于高純氣體配管技術(shù)及電子工業(yè)中常見的氣體種類的簡單介紹,感謝您的閱讀!